研磨液綜合過濾裝置 由紙帶過濾裝置和磁性分離器組成。過去的紙帶過濾裝置的缺點是使用后作為工業(yè)廢物排放的量很大。因此，在減少過濾紙的用量上下了很大的功夫。
研磨液綜合過濾裝置 首先改進了形狀，將有效過濾面由過去的70％增大到了90％。此外還加深了安裝紙濾器的過濾網(wǎng)。過去，過濾器一旦堵上研磨屑，水馬上就透不過去了。而新系統(tǒng)通過加深過濾面，形成了水壓，即使網(wǎng)眼被堵上，也能把水壓出去。因此，能夠處理2倍于過去的研磨屑。另外，殘留在過濾器中的過濾物層疊后，還能起到濾餅過濾的作用。能夠去除粒徑15μm左右的磨砂和碳顆粒。
研磨液綜合過濾裝置 磁性分離器則可去除90％粒徑為15μm的微細研磨屑。通過與磁性分離器配合使用，就可減少過濾紙的用量。采用以上措施，可減少84％的過濾紙用量。
